在半導(dǎo)體制造過程中,全自動晶圓缺陷檢測技術(shù)對光學(xué)成像效果要求很高。檢測分明場和暗場,明暗場大多使用高亮光纖光源成像,觀察硅片的表面缺陷(如崩邊缺角,表面臟污)。樂視科技新升級2代新款高亮光纖光源,新款2SLG250比2SLG150-W亮度提升60%。發(fā)光效能高,發(fā)熱量低,是半導(dǎo)體檢測的最佳搭配。
產(chǎn)品特點
◆采用多組耦合透鏡設(shè)計實現(xiàn)高亮度,高效能
◆外觀簡潔流暢,體積更小巧
◆標配R/G/B/W/CW(高顯色)型5種顏色
◆20mm照度可達到1500萬LX
◆適合半導(dǎo)體顯微模組應(yīng)用
照度特性圖
型號:LTS-2SLG250-W/2SLG150-W
注:調(diào)光100%、光纖8mm光束,總長1100mm的直型光纖導(dǎo)管,從光纖出光口到各照射距離的位置的實測值(并非保證值)。
亮度對比圖
2SLG250-W比2SLG150-W亮度提升60%以上
可配套4款不同集光鏡
照度分布圖(LTS-HL)
照度分布圖(LTS-ML)
成像灰度對比圖
相機:ACA2440-20gm
鏡頭:LTS-TC05110
相機曝光:130us
顯微模組晶圓應(yīng)用示意圖
光源參數(shù)

